激光掺杂的分类有不同的标难

 激光掺杂的分类有不同的标难。激光打标机按所用激光的波长成分来分，激光掺杂分为单波长法相双波长法。单波长法使用单波长的激光束作激光掺杂．它以光热分解或光化学分解的方式使源物质分解产生杂质原子，同时又对衬底定域加热．使杂质原子得以掺入。双波长法是同时使用两束不同波长的激光实现激光化学掺杂。较短波长的激光常以化学分解的方式性源物质分解产生杂质原子，其强度决定掺入衬底的杂质浓度；波长较长的激光起加热衬底表面的作用，以控制掺杂范围。双波长法可以用两束激光分别控制掺杂浓度和掺杂范围，单波长法没有色差、对准等问题．光路调整方便。
按掺杂所用杂质源来分，激光接杂可以分力气相激光掺杂利固态杂质源激光掺杂。气相激光接杂所用的源物质部是气态物质，通常是由吸阶在衬底表面或碰撞在衬底表面的源气体分子发生光热分解产生杂质原子。固态杂质源激光掺杂通常是使用源物质的溶液在衬底农面制备固态掺杂膜，掺杂膜作为扩散源．在激光束照射时以光化学分解或光热分解的方式分解产生杂质原子。气相激光掺杂的应用范围广，但设备复杂、工艺要求高，源材料的贮存、运输、使用由相对困难一些。固态杂质源的激光掺杂对工艺条件要求较低．所需设备简单，源材料的贮运也方便，激光打标机但适于作激光掺杂的源材料不像气相源材料那么多，因而使用范围有限。

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